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半导体测试系统

4200-SCS 参数分析仪


4200-SCS是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用9个测量槽和内置低噪声接地单元,您可以根据测试要求或预算限制进行精密配置。

直流I-V测量是器件和材料测试的基础。4200-SCS源测量单元(SMU)是高精度源电流或电压以及同步测量电流和电压的精密仪器。4200-SCS提供的宽范围I-V测量包括:亚ρA漏电测量、μΩ电阻测量。

电容-电压(C-V)测试广泛用于确定各种半导体参数,例如掺杂浓度和分布、载流子寿命、氧化层厚度、界面态密度等。4200-SCS提供3种C-V法:多频(1kHz~10MHz)C-V、超低频(10mHz~10Hz)C-V和准静态C-V。

在分析器件特性时,脉冲I-V测试非常适于防止器件自发热或最小化电荷俘获效应。通过用窄脉冲和/或小占空比脉冲代替直流信号,可以在保持DUT性能的同时提取重要参数。瞬态I-V测量能让科学家或工程师在时域采集超高速电流或电压波形以便研究动态特性。

 


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